陶瓷電子束加工是近十多年來得到較大發(fā)展的新型特種加工，可進行微米級加工，在陶瓷精密微細加工方面，特別是在微電子學領域中得到更多應用。電子束加工是在真空條件下，由電子槍射出的高速電子束經(jīng)聚焦后轟擊工件表面，形成局部高溫，使材料瞬時熔化和氣化，以去除材料進行加工。在加工陶瓷材料時，為防止溫差引起工件變形以至破裂，需預熱電子束。它主要應用于加工陶瓷微細小孔、異型孔及陶瓷特殊型面和刻蝕等。
陶瓷電子束加工的特點：①電子束可將90%以上的電能轉(zhuǎn)換成熱能；②電子束能量密度高，因而加工生產(chǎn)率很高；③電子束能量和能量密度的調(diào)節(jié)很容易通過調(diào)節(jié)加速電壓、電子束流和電子束的匯聚狀態(tài)來完成，整個過程易于實現(xiàn)自動化；④電子束加工是在真空條件下進行的，既不產(chǎn)生粉塵，也不排放有害氣體和廢液，對環(huán)境幾乎不造成污染；⑤電子束照射能使表面生成非晶化層；⑥電子束照射能大幅度提高耐蝕性；⑦電子束照射能增強防水性；⑧電子束照射能在磨具精加工中實現(xiàn)新的、高效率的非手工拋光工序。
近年來，國外對電子束焊接及其它電子束加工技術的研究主要在于以下幾個方面：①完善超高能密度電熱裝置；②掌握電子束晶質(zhì)及與材料的交互行為特性，改進加工工藝技術；③通過計算機CNC控制提高設備柔性以擴大其應用領域。日本在最近已研制出了EBM磨具陶瓷表面拋光設備，這種如工裝置是業(yè)界首創(chuàng)的一種加工技術，具有劃時代的意義。我國經(jīng)過多年的實踐，在該領域也取得了一定成果，如大連理工大學三束材料改性國家重點實驗室用電子束對材料表面進行照射，研究其對材料表面的改性等
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本文“陶瓷電子束加工方法”由科眾陶瓷編輯整理，修訂時間：2019-03-16 11:37:44
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